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痴滨颁滨:氦气和氮气纯化器

更新时间:2025-01-07

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痴滨颁滨:氦气和氮气纯化器

贬笔2(氦气纯化器)

·纯化的气体:氦、氖、氩、氪、氙、氡;

·操作压力:1000辫蝉颈

·能去除的杂质:出口杂质低于10ppb(H2O, H2 ,O2  ,N2 ,NO ,CO ,CO2 ,CH4 ,NH3),此基于10ppm的总进样杂质为前提,其它去除杂质包括CF4 ,CCl4 ,SiH4和低分子碳化物等

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狈笔2(氮气纯化器)

·纯化的气体:氮气;

·操作压力:1000辫蝉颈

·能去除的杂质:出口杂质低于10ppb(H2O, H2 ,O2  ,N2 ,NO ,CO ,CO2 ,NH3),此基于10ppm的总进样杂质为前提,其它去除杂质包括CF4 ,CCl4 ,SiH4和低分子碳化物等


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